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ALS130直线电机平台
1.双向重复定位精度高达0.1um 2.直驱直线马达实现超精密运动 3.高精度非接触式直线编码器(光栅) 4.交叉滚子轴承实现平稳运动 5.占地面积小,性能卓越 行程150mm 精度±0.3um 负载12.0kg
北京高控科技有限公司
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