X－FAB进入3D时代 开启MEMS传感器产业新世代

X-FAB，这家已经出货超过十亿MEMS器件的晶圆厂，日前又再次发表业界首个为微机电系统（MEMS）三轴惯性传感器（3Dinertialsensor）提供的开放性平台，一个可以直接从代工厂量产的工艺。那些需要进入新的3D惯性传感器的无晶圆设计公司可以直接在这个工艺上进行设计开发或使用X-FAB的合作设计公司的方案，而且可以直接上量，无需再进行长时间和巨资的工艺开发。X-FAB的开放性平台制程可以加快产品导入市场并保证惯性传感器的质量。

新型的微机电系统（MEMS）技术可适用于非常广泛的应用领域，例如手机、消费与游戏类产品、玩具、汽车、机器人、工业与医疗等使用三轴加速度计（3Daccelerometers）、或陀螺仪（gyroscopes）。同一个工艺可以生产单轴与双轴的加速度计，而加速度计（accelerometer）和陀螺仪（gyroscope）亦可在同一个工艺中整合在单一芯片上，以实现六自由度的惯性感测单元。

X-FABMEMS产品线经理IainRutherford表示，”X-FAB开放性平台的制程开启MEMS产业的新世代。我们正在改写历史，把“一个产品、一个工艺”的限制转换到开放性的平台，此方法给予任任意客户使用世界级质量的工艺做多领域的应用开发，此举能让我们的客户快速地实现他们的目标。”

X-FAB的新技术具备高可靠度、单晶硅的惯性质量（inertialmasses）与drive-combs、特有的埋层连接（buriedcontact）技术让单一的金属层可以完成复杂的金属连接、还有低寄生电容和EMI防护。三轴惯性传感器的新工艺补足了X-FAB于2003年所建立并已被客户使用的单轴/双轴惯性传感器、压力传感器、与红外线感应热电堆（thermopile）的开放平台技术，其中还包含现成的2G、10G、100G的加速度计IP。为了保证该技术的特性、稳定与高良率，X-FAB对该三轴惯性传感器的技术进行一步一步地质量验证。