北方微电子推出HSE200高密度等离子刻蚀机并实现批量销售

北方微电子公司近期发布了HSE200高密度等离子刻蚀机，致力于为MEMS领域提供专业的设备工艺解决方案，HSE200高密度等离子刻蚀机一经推出便以其优越的技术性能获得客户信任，在机台发布首月就成功实现机台销售，至今已获得多家客户订单。

近年来，随着智能手机、汽车电子、医疗电子、物联网等产业的快速发展，对MEMS产品器件的需求量将会持续攀升，中国MEMS产业也逐渐开始崛起。

北方微电子公司全新亮相的HSE200高密度等离子刻蚀机是针对MEMS领域量身打造的深硅刻蚀设备。该刻蚀机采用了全新的技术路线，开发了高自由基密度的立体等离子源;采用高功率控温系统可实现二倍于常规工艺的刻蚀速率;集成了双等离子源控制、双进气系统控制，保证了各种MEMS工艺实现优异的均匀性;快速响应的MFC、匹配系统和软件控制、近距离的gasbox设计，保证侧壁形貌平滑控制。此外，该设备已全面发布了HSE200S\200C\200L全系列机台，灵活的系统配置，适合研发、中试线、大规模生产线的不同应用，为客户提供更全面的深硅刻蚀设备工艺解决方案，同时，该设备亦可扩展至2-8英寸先进封装领域中的深硅刻蚀工艺。借助产业快速发展契机，将引领深硅刻蚀装备市场的新格局。

一路走来，北方微电子通过以技术创新和新产品开发立足于半导体装备解决方案领域，成果丰硕，成功开发了以刻蚀机、PVD和CVD三大类半导体装备产品为基础的20余类产品。此次北方微电子发布了国际领先的高深宽比深硅刻蚀设备，相信能为客户带来更大的惊喜。

新的力量、新的希望正在破茧而出，北方微电子愿意与产业链上下游加强沟通，充分把握新兴市场的技术需求，实现技术前瞻性布局，以更先进的差异化技术、更全面的高品质服务，与MEMS及新兴产业同仁携手合作，共同成长，创造共赢产业生态环境。