MEMS技术应用于加速度传感器高频继电器(图)

　　MEMS继电器ME-X融合了MEMS和机械继电器技术，采用精密活动结构和磁回路，大小仅为4.0mm×2.5mm× 1.3mm，同时具有低接触阻抗、接点间高绝缘性、可在高频且宽频带下使用的机械式继电器的优点和小型、高效率、可高速开闭的半导体继电器的优点。继电器在6GHz时的电阻为50Ω，插入损耗约为0.5dB，隔离度约为28dB，功耗为100mW，可用于IC测试仪、测量仪、BS/地波数字广播、3G/4G移动电话等产品当中。

　　 GS1型单轴加速度传感器由精密梳齿结构形成的静电容量式MEMS传感器芯片和专用ASIC芯片组成，典型尺寸为6.2mm×8.5mm×1.6mm，检测灵敏度为 1V/g，综合精度为±5%FS，温度变化适应性强、可靠性高，可将温度所引起的检测精度的变化控制在最小限度。GS1型加速度触传感器可用于汽车导航系统(倾斜检测、振动检测、简易冲击监视器)和车辆控制(4WD-ABS、ESC等)、液晶投影机、福利型电动升降机等领域。

　　 GS3型三轴加速度传感器有放大器内置型和无放大器的单体型，可以把施加加速度后所引起的压电阻变化转换为电压变化并输出。内置型带有专用ASIC，尺寸为4.6mm×4.6mm× 1.3mm，可承受5000g的冲击。单体型没有专用ASIC，典型尺寸为4.6mm×4.6mm×1.0mm，可承受5000g的冲击，并可与旭化成微系统公司生产的三轴电子罗盘AK8971N相连接。适用于内置HDD的手持设备的跌落保护、液晶画面的纵横切换、游戏机、安全设备、机器人、移动电话、GPS导航的姿势修正、游戏键盘操作的简化等应用。

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