3D表面微观型面测量系统

&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;四种共焦位移传感器AF16、C1、KF2、Tele和座标机Hyperion组成3D表面微观型面测量系统： <br />平面移动范围：50x50mm ；重复精度：0.5&micro;m ；回程间隙：优于3&micro;m ； <br />平直度：0.2&micro;m ,0.5&micro;m ；最大移动速度：30mm/s ；步进分辨率：0.5&micro;m ； <br />Z方向测量范围(与选用的传感器有关)：1.5mm (AF16) ；1mm (KF2/Tele) ；0.3mm (C1) ； <br />Z方向分辨率(与选用的传感器有关)：10nm (AF16) ；100nm (KF2/Tele) ；25nm (C1) <br />接口：RS232 ; <br />尺寸：400x350x350mm ; <br />重量：40kg <br /><br />四种传感器指标： <br />型号：AF16/C1/KF2/Tele <br />量程：1.5/0.3/1/1mm <br />分辨率：10/25/100/100nm <br />线性：0.2&micro;m/0.5%/1&micro;m/2&micro;m <br />重复性：10/10/30/100nm <br />测量间隙2/4/4/13.5mm <br />光源：半导体激光器780nm/卤素灯55W/半导体激光器670nm/半导体激光器780nm <br />激光等级：1/－/2/1 <br />光斑直径：1.9/9/1.7/2&micro;m <br />测量垂直度：90&ordm;±25&ordm; <br />响应：16HZ~10KHZ/30HZ~1500HZ/16HZ~1KHZ/16HZ~1KHZ <br />速度：60mm/s /- /550mm/s /550mm/s <br />输出/数据接口：RS232/RS232/RS232,模拟/RS232,模拟 <br />欲了解更多关于产品的信息，请访问真尚有公司网站 www.51sensors.com <br />