半导体圆晶片物理气相沉积定位控制传感器

&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp; <br />在物理气相沉积（PVD）系统中，晶片被放入好几个小盒中，每次沉积不同的物质。SMU-9000-5u传感器测量系统安装在沉积盒内部（如图）。每个传感器测量携带晶片进入小盒的末端感应器的位置。 <br />目标： <br />保证半导体晶片在物理气相沉积（PVD）小盒内的精确摆放 <br />避免晶片在小入口处由于没有对准而导致的破损 <br />保证晶片上的物质层均匀沉积 <br />测量系统的优势： <br />非接触高分辨率：1纳米 <br />可重复通用：系统有大量传感器选件 <br />欲了解更多关于产品的信息，请访问真尚有公司网站 www.51sensors.com <br />