半导体圆晶片刻线显微镜聚焦系统用电涡流位移传感器

&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;<br />用凯盟公司15N传感器头和前置器SMU9200组成。 <br />主要指标： <br />测量对象：铝 <br />量程起点：0.625mm <br />量程：±0.25mm <br />非线性：±1％ <br />分辨率：<5x10^-9M <br />灵敏度：10V/mm <br />电源：+6～＋30V，15MA/每通道 <br />频响：0－10KHZ <br />输出：±2.5V <br />温漂：0.25&micro;m/℃ <br />欲了解更多关于产品的信息，请访问真尚有公司网站www.51sensors.com <br />