ATOP六寸厂晶圆追踪系统方案介绍

分类：解决方案日期：2009-08-11 08:41:41 来源：厂商

1、目前使用状况：

原本采用的晶圆架如下图

A、目前FEB中有很多这样的架子，操作人员操作好一个动作后，会随便找一个架子，存放晶圆盒。等下次要用到的时候，已经忘记自己把晶圆盒放到哪里了，就需要找，就像大海捞针一样。不仅浪费时间而且容易搞错。

B、目前使用的晶圆架为6层，而且每层的深度可以放2个Box,每层可以放5排则每层最多可以放10个Box

C、每个晶圆盒上会有一个条码，表示Lot number

2、改造需求

通过系统能够快速找到晶圆盒

3、改造方案建议

1、因为货架上晶圆盒摆放是一层放10个，且为两排，并目前摆放是随意性的。要想定位到每个晶圆盒比较困难，而且投入比较高。所以建议定位到每个货架，然后操作人员再通过LotNumber寻找到正确的晶圆盒

2、货架改造图

在货架上安装一个数据显示终端及一个条码扫描器

3、流程介绍

A、放入晶圆盒：操作人员在摆放晶圆盒前，先通过货架上的条码扫描器扫描LotNumber, 数据显示终端上会显示该LotNumber（表示条码已经正确读取）,然后将其放在货架的任一位置。条码数据通过数据显示终端的网络接口传送到后台数据库，系统中存有数据显示终端对应得货架名，从而系统知道该晶圆盒摆放到了那个货架上面。

B、 拿出晶圆盒：操作人员要拿出晶圆盒时，可通过FEB的任一PC终端查询该晶圆盒位置，查询到该晶圆盒所在的货架后，去该货架按照LotNumberr寻找到正确的晶圆盒，再在扫描器上扫描一下条码，告诉系统该晶圆盒已经拿走。数据显示终端也会显示该LotNumber,让操作人员再次确认是否拿的正确。

4、系统硬件需求及连接图

A、数据显示终端------DT4000

DT4000介绍：

主要特性：

直接连接以太网络,100Mbps通讯速率更快更稳定

全角模式：16x16点阵 15 字符x4 行英数字及中文（简/繁体）显示

半角模式：8x8点阵 30字符x8 行英数字显示

FLASH: 可存储13000个16x16 中文字符

支持USB设备连接 2个USB接口

操作系统：Linux

产品规格

CPU：32位CPU