磁控溅射镀膜生产线

真空镀膜方法是近代表面处理与改质技术的主流。已被大量应用在光电、半导体、光磁储存媒体、被动组件、平面显示器、微机电、光学组件、金属切削刀具及各类机械耐磨、润滑及包装、生物医学材料上。“易控(INSPEC)”最近在国内一专业真空镀膜设备及玻璃机械设备制造公司成功应用。该公司水平磁控镀膜生产线采用溅射的方法在玻璃上成膜， 广泛用于镀制各种建筑玻璃、电子工业IT0透明导电玻璃、冰箱玻璃和高反射镜等。该线吸收欧洲生产线的先进技术和工艺，并配有三菱FX2N-PLC和触摸屏、工控机，整个过程完全实现自动化控制，使镀膜生产具有很好的工艺重复性,更适合工业化大批量生产的需要。该生产线技术先进，融合了独特的操作人性化、使用简便化设计理念，在用户群体中得到了充分的肯定。

1、生产线采用PLC全过程控制，并配有彩色显示屏，显示镀膜工艺过程参数等；

2、实时动画形式显示监控磁控镀膜生产线的工艺流程。磁控镀膜生产线的设备是密封的，生产时看不见玻璃在真空室里面的运行情况，通过“易控(INSPEC)”通用组态式监控系统形象的动画功能来实时反应玻璃在密封真空室里的运行情况，让现场操作工对整个生产流程了若指掌。

3、系统功能丰富：包括手/自动模式选择、工艺方案选择、数据检测记录、故障报警记录、自动诊断保护、操作权限限定等等。

上位监控系统采用的是“易控(INSPEC)”通用组态式监控系统，其与下位控制系统的三菱FX2N PLC通信方式采用RS-232串行通讯方式。LG变频器及真空泵、抽气阀等都是由三菱FX2N-PLC来控制，而PLC通过一个扩展的232BD模块与计算机相连。

1、以实时动画形式监控磁控镀膜生产线的工艺流程，监控电机、真空泵、抽气阀等部件的运行状态；