集成电路照排平台高精度定位传感器

&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;<br />在关键的Z轴高度调整中，支撑圆晶片的平台必须非常精确地处于焦点平面（次原子级）。凯盟系统精确测量Z轴平台的位置（如图）并输出模拟信号（或可选的数字接口）。此传感器的高精度、重复性和分辨率可让用户在平台定位和聚焦上形成闭环。用凯盟公司15N传感器头和前置器SMU9000组成。 <br />主要指标： <br />测量对象：铝 <br />量程起点：0.25mm <br />量程：25&micro;m <br />非线性：±1％ <br />分辨率：<25x10^-11M <br />灵敏度：0.4V/&micro;m <br />电源：+12～+30V，15MA/每通道 <br />频响：0－10KHZ <br />输出：0-10V <br />温漂：<0.5&micro;m/℃ <br />欲了解更多关于产品的信息，请访问真尚有公司网站www.51sensors.com <br /><br />